國家標準對表面粗糙度測量的要求是實現三維測量，而光散射原理正好與之吻合，它NAND512W3A2CN6可實現表面的面積采樣，同時所形成的散射光帶光能分布和表面微觀形貌高度變化有較清晰的對應關系。利用光散射法測量表面粗糙度可滿足快速動態、高精度、無損檢測及抗干擾性能強的要求。還有不少學者提出以其作為表面粗糙度基本儀器來改變基于傳統觸針式儀器的形狀，從而推動新原理、新儀器的發展，滿足生產實際的需要。基于這種原理，人們提出了一種激光散射法在線檢測表面粗糙度的方法。

   激光散射法在線檢測表面粗糙度的光學原理圖，半導體激光器1輸出光功率為3 mW、波長為780 nm的光束，該激光束通過偏振片3成為線偏振光，偏搌方向平行于紙面，分光鏡11將光束一分為二，其中反射光占大部分。經分光鏡11反射的一束光為測量光束，該光束經平面鏡4反射，調整分光鏡11和平面鏡4的角度，使該光束經平面鏡4反射后，最后由圖11.10所示的位置入射到測量透鏡6(廠=40 mm，D=30 mm)上，經測量透鏡6會聚后，到達工件表面，經工件表面散射后，形成與工件表面加工紋理方向垂直的散射帶。

    經分光鏡11透射的另一束光為對準光束，該光束經分光鏡11透射后的位置入射到測量透鏡6上，經測量透鏡6會聚后，到達工件表面，被工件表面散射，形成另一個與工件表面加工紋理方向垂直的散射帶。這樣，由測量光束形成的散射帶和由對準光束形成的散射帶相互平行，但是位于透鏡光軸的兩側，這兩條散射帶是不會互相干擾的。測量光束形成的散射帶通過測量透鏡后成為平行光束，然后經由反射鏡8反射到光電二極管接收陣列9上轉換為電信號輸出。對準光束形成的散射帶經過孔徑光闌5和反射鏡10后也被光電二極管接收陣列接收并轉換為電信號輸出。由于這兩條散射帶在空間上相互平行，并且還有一定的距離，再加上孔徑光闌5的作用，這兩條散射帶不會在光電二極管接收陣列9上相互重疊。另外，垂直入射的對準光束與光軸有一個偏心距，此外還有孔徑光闌的作用，因此光路申基本上沒有回光。