光助銅腐蝕
發布時間:2017/11/11 18:20:09 訪問次數:762
光助銅腐蝕(Pho1o Assisted Copper Corrosion,PACC)
產品中的PN結在光子的照射下產生電子流動,使得Cu原子從P摻雜的連線轉移到N摻雜的一端,QEDS-9864實現了這個PN結回路的導通,相當于一個太陽能電池,這就是所謂的光助銅腐蝕(PΛCC),見圖ll.17和圖11.18。在其他的金屬拋光(如W CMP和GST CMP)中也會發生此現象。當此現象發生時,你會發現在某些固定的位置(都是P摻雜區域),部分金屬神秘地消失了。這種缺陷可以通過在拋光和清洗時減少光的照射得到改善,所以,銅拋光機都有遮光系統(dark skin)。合理的產品圖形設計是解決此問題最根本的方法。
圖1117 光助銅腐蝕原理圖
光助銅腐蝕(Pho1o Assisted Copper Corrosion,PACC)
產品中的PN結在光子的照射下產生電子流動,使得Cu原子從P摻雜的連線轉移到N摻雜的一端,QEDS-9864實現了這個PN結回路的導通,相當于一個太陽能電池,這就是所謂的光助銅腐蝕(PΛCC),見圖ll.17和圖11.18。在其他的金屬拋光(如W CMP和GST CMP)中也會發生此現象。當此現象發生時,你會發現在某些固定的位置(都是P摻雜區域),部分金屬神秘地消失了。這種缺陷可以通過在拋光和清洗時減少光的照射得到改善,所以,銅拋光機都有遮光系統(dark skin)。合理的產品圖形設計是解決此問題最根本的方法。
圖1117 光助銅腐蝕原理圖
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相關技術資料- 11-11光助銅腐蝕
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