一種方法可以降低閾值，PCA9534BS即反差增強層( CEL)，就是在光刻膠上面涂一層，該層最初對曝光輻射是不透明的。

   在曝光循環中，反差增強層變白（透明的），從而允許光線通過它進入下面的光刻膠。反差增強層在變成透明物質前，首先對高強度光線響應，實際上在變成透明物質前，等于保存了低強度光線。結果就是光刻膠接受均勻的高強度能量照射，使得分辨率提高。，可以將反差增強層想象成雙層光刻膠系統中的七層光刻膠，在這上面薄層中形成圖形。

   反差增強層在顯影前被一種噴涂化學試劑除去，然后對晶圓進行常規的顯影。具有1.0lim分辨能力的正膠通過反差增強層可以做出0.5 ym的圖形、在光刻膠生產過程中可以加入各種各樣的染色劑。一種染色劑在曝光時可以具有一種或幾種作用。，一種作用可能是吸收輻射光線，借此可以削弱反射光的影響，將駐波效應減到最小。另一種作用可以改變顯影時光刻膠聚合物的分解率。這一作用町以產生清晰的顯影線條（增大反差）。染色劑的一個重要作用是消除淀積材料穿過表面臺階細線條處產生的凹口。對兆刻膠添加染色劑會增加5%~50%的曝光時間36．。