近期溫度傳感器研究工作的主要內容集中在簡化校準步驟的同時降低器件的功耗。由于在兩個傳感器之間達成熱平衡需要耗費數分鐘,因此通過一個參考傳感器進行溫度傳感器的校準是費時且昂貴的過程。可以十分精確地充當溫度的測量標量,通過將其根據外部準確的參考電壓進行數字化的方法,傳感器的誤差范圍可以在少于1s的時間內進行電壓校準到0.1℃以下[20]。為了提高傳感

器的運行效率,可以采用一種更高效的兩步模-數轉換器,其中包括了第一步基于二進制檢索的較為粗略的轉換以及第二步基于⒍gma-delta調制的較為精準的轉換步驟[21]。在軍用溫度(-55~125℃)范圍內,最終的溫度傳感器在電壓校準步驟后達到了±0.15℃的誤差精度,其結果與上述最優結果差距很小。但其功耗僅有5uW,這一結果幾乎只有前者。

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     智能風速傳感器

    在本節中,我們將主要介紹智能風速傳感器的設計。這類無可移動組件的固 態傳感器可以用來測量風速和風向[22]。傳感器充分利用了當風吹過某發熱物體,該物體各部分將會呈現非均勻降溫這一原理。風速和風向即可通過測量最終的溫度梯度而獲得。如果該物體是一塊芯片,其中的電流通過電阻會產生熱量,同時由風引起的溫度梯度能被集成的熱電堆所感測到。