簡言之,校準是確立傳感器精度的過程。一個正確的校準程序確保了傳感器的讀數符合國際標準,并在需要時進行讀數修正。理想的智能傳感器在內部執行修正,以提供便于轉換的輸出信號。因此,校準和修正數據被存儲在傳感器的非易失性存儲器中,例如,以傳感器電子數據表的形式(TEDS)。然而與校準有關的費用是智能傳感器生產成本的重要組成部分,有時可以通過一些技術來降低,例如晶圓級校準、批量校準或者分類等。

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   自校準是一個術語,定義為使用一整套技術、通過增加傳感器的智能性來提高其精度。例如,自校準的第一種形式是附加傳感器的共集成,來補償交叉靈敏度。如果一個精確的激勵器能夠制造出來,用來在芯片中產生一個參考信號,比 如可以用來校準傳感器的靈敏度。從而,是由激勵器而不是傳感器來決定`總體的精度。有一個例子是零位平衡結構,在反饋環路中使用激勵器使得傳感器的輸入為零。這種方法的一個重要優點是,傳感器靈敏度和線性度的誤差被環路增益減弱。一個調制的激勵器能夠用來周期性屏蔽輸人信號,以測試和減去它的偏移誤差和低頻噪聲。最后,激勵器合并到帶有額外傳感器的反饋回路,可以用來為傳感器的運行創造穩定的環境。因此,傳感器運行的最佳條件能夠得以實現,并使傳感器遠離環境變化的影響。然而,因為可追溯性的需求,這樣一個自校準的技術不能替代真的校準過程,但它們可以減少所需要的校準點的數目,并且延長校準的時間間隔。