摘 要:在介紹oee與toc理論的基礎上,將兩者的優缺點互補,引入iee概念進行瓶頸診斷,開展了tpm活動以提高系統整體效率,同時提出一宏觀與微觀相結合的企業數據收集與處理模型。結合目前國內半導體廠實時性差的特點,介紹了一晶圓制造過程實時系統工作流程。
關鍵詞:設備綜合效率,約束理論,設備固有效率 中圖分類號:c37; c931.6 文獻標識碼:a 文章編號:1003-353x(2005)08-0004-04
1 引言 半導體制造投資巨大,尤其是設備成本極其昂貴,因此,有效利用設備一直是企業關注的焦點。由于oee(整體設備效率)考慮了設備所有的運行情況,計算方便準確,且更加適合柔性生產設備,彌補了傳統計算效率方法的不足,因而得到了廣泛的應用。但由于oee針對的是單臺設備,缺乏系統性,因此本文引入toc理論,在對oee與 toc進行簡要介紹的基礎上,提出一基于toc理論的oee應用模型,將定性與定量相結合 ,以期彌補oee的不足,提高其應用的效率。 2 oee簡介 2.1 oee概念及計算<1> oee計量設備及其規定能力制造好零件的時間百分率,是全面生產維護的一部分,衡量著整個制造過程的績效。 oee由三個基本元素構成:可用效率(ae)、性能效率(pe)、合格品率(rq)。 oee計算模型如下
2.2 oee的分類<2>
2.1中介紹的是標準oee的計算。另外,根據計算與分析的需要,oee又可分為:產品oee、需求oee及群設備oee。 (1)產品oee(oeep):是在產品可獲得情況下,對設備效率衡量的一種方法,它是在標準oee中去除設備可運行但缺料加工的情況。其計算如下
(2)需求oee (oeed) 是衡量與產品計劃有關的設備效率。計算 需要有工廠產能模型,以標識設備計劃閑置時間或計劃無wip時間。 oeed從設備開動時間內去除了計劃閑置時間,其計算公式如下
(3)群設備oee 目前semi(國際半導體設備與材料組織)還未對其明確定義,對其本身衡量指標尚待進一步研究。 2.3 oee實質
oee實質就是生產周期內理論加工時間和負荷時間的百分比,它可以從標準oee的計算公式中推導出來 即實際產量與負荷時間內理論產量的比值。 2.4 利用oee進行損失分析
利用oee可以進行主要設備損失分析。首先,通過oee模型各子項的分析,可以很容易地找出影響設備效率的原因,然后有針對性地解決問題,達到提高設備效率的目的。oee根據其三類元素將設備效率的主要損失歸為六大類(表1)。
2.5 oee的優點與不足
與傳統計算設備利用率的方法相比,oee具有明顯的優勢。傳統的方法僅專注于可用效率,oee還考慮到效率及質量因素,它使決策者能同時關注設備的多方面,便于采取相應調整措施。但oee也有其自身的局限性,它針對的是單臺設備,缺乏全局優化觀點。計算oee雖然方便,但要分析其相應參數,卻需大量精確數據,而由于生產的動態性及環境的變化,這些數據不易獲得。要對oee進行改善,需大量的人力、物力,可能涉及到組織的每一方面,如生產、維護、工藝部門。 如果 oee僅僅被用作內部效率指標,則它對生產系統的貢獻是微薄的。因此,oee需要與系統化觀點結合,才能實現生產系統的整體改善。 3 toc理論<3>
3.1 toc理論簡介
約束理論(theory of constraints)是以色列物理學家goldratt提出的。 toc理論認為,對于任何一個由多階段構成的系統來講,如果其中一個階
(上海理工大學工業工程研究所微電子發展研究中心,上海 200093) | 摘 要:在介紹oee與toc理論的基礎上,將兩者的優缺點互補,引入iee概念進行瓶頸診斷,開展了tpm活動以提高系統整體效率,同時提出一宏觀與微觀相結合的企業數據收集與處理模型。結合目前國內半導體廠實時性差的特點,介紹了一晶圓制造過程實時系統工作流程。
關鍵詞:設備綜合效率,約束理論,設備固有效率 中圖分類號:c37; c931.6 文獻標識碼:a 文章編號:1003-353x(2005)08-0004-04
1 引言 半導體制造投資巨大,尤其是設備成本極其昂貴,因此,有效利用設備一直是企業關注的焦點。由于oee(整體設備效率)考慮了設備所有的運行情況,計算方便準確,且更加適合柔性生產設備,彌補了傳統計算效率方法的不足,因而得到了廣泛的應用。但由于oee針對的是單臺設備,缺乏系統性,因此本文引入toc理論,在對oee與 toc進行簡要介紹的基礎上,提出一基于toc理論的oee應用模型,將定性與定量相結合 ,以期彌補oee的不足,提高其應用的效率。 2 oee簡介 2.1 oee概念及計算<1> oee計量設備及其規定能力制造好零件的時間百分率,是全面生產維護的一部分,衡量著整個制造過程的績效。 oee由三個基本元素構成:可用效率(ae)、性能效率(pe)、合格品率(rq)。 oee計算模型如下
2.2 oee的分類<2>
2.1中介紹的是標準oee的計算。另外,根據計算與分析的需要,oee又可分為:產品oee、需求oee及群設備oee。 (1)產品oee(oeep):是在產品可獲得情況下,對設備效率衡量的一種方法,它是在標準oee中去除設備可運行但缺料加工的情況。其計算如下
(2)需求oee (oeed) 是衡量與產品計劃有關的設備效率。計算 需要有工廠產能模型,以標識設備計劃閑置時間或計劃無wip時間。 oeed從設備開動時間內去除了計劃閑置時間,其計算公式如下
(3)群設備oee 目前semi(國際半導體設備與材料組織)還未對其明確定義,對其本身衡量指標尚待進一步研究。 2.3 oee實質
oee實質就是生產周期內理論加工時間和負荷時間的百分比,它可以從標準oee的計算公式中推導出來 即實際產量與負荷時間內理論產量的比值。 2.4 利用oee進行損失分析
利用oee可以進行主要設備損失分析。首先,通過oee模型各子項的分析,可以很容易地找出影響設備效率的原因,然后有針對性地解決問題,達到提高設備效率的目的。oee根據其三類元素將設備效率的主要損失歸為六大類(表1)。
2.5 oee的優點與不足
與傳統計算設備利用率的方法相比,oee具有明顯的優勢。傳統的方法僅專注于可用效率,oee還考慮到效率及質量因素,它使決策者能同時關注設備的多方面,便于采取相應調整措施。但oee也有其自身的局限性,它針對的是單臺設備,缺乏全局優化觀點。計算oee雖然方便,但要分析其相應參數,卻需大量精確數據,而由于生產的動態性及環境的變化,這些數據不易獲得。要對oee進行改善,需大量的人力、物力,可能涉及到組織的每一方面,如生產、維護、工藝部門。 如果 oee僅僅被用作內部效率指標,則它對生產系統的貢獻是微薄的。因此,oee需要與系統化觀點結合,才能實現生產系統的整體改善。 3 toc理論<3>
3.1 toc理論簡介
約束理論(theory of constraints)是以色列物理學家goldratt提出的。 toc理論認為,對于任何一個由多階段構成的系統來講,如果其中一個階
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