目前精度最高、穩定性最好的壓力傳感器是水晶諧振式壓力傳感器。其精度已超過0.01%fs，溫度穩定性優于10-6/時間穩定性高于10-6/年。近年來，隨著傳感器技術的發展，分析研究的結果表明，硅和水晶都是具有優良彈性的材料，它們的溫度系數也大體相同，因此，研究人員已經利用硅來研制諧振式壓力感器，并已有產品問世。 由于硅不具有壓電性，因此，不如水晶那樣容易實現諧 振的激勵接收，只有解決硅諧 振激勵和接收方法，才可以研制出硅諧 振式壓力傳感器。目前解決的方法有兩種，其一是靜電激勵法，即利用電磁激勵或熱電激勵；其二是壓電激勵法，即利用壓電薄膜、鐵電薄膜和壓電陶瓷片激勵。 硅諧振式壓力傳感器具有如下特點： 1、把膜片（起應力集中作用）和諧 振器制作在同一塊單晶硅上，因此，不會在它的連接處產生遲滯、蠕變、漂移，可以獲得穩定性好、重復性佳的壓力傳感器； 2、它的體積小、重量輕、動態特性好、熱容量小，可以實現大批量生產和降低成本； 3、由于硅諧振器置于真空室內，所以不受被測流體密度的影響，機械q值非常高（高達5萬），從而使傳感器的分辨率很高。其工作原理是利用硅諧 振器與選頻放大器構成一個正反饋振蕩系統，當此系統受到壓力作用時，其固有的振蕩頻率發生變化，因此，根據其頻率的變化就可以測量出壓力的大小。 硅諧振式壓力傳感器的結構基本有兩種，即一是平面型硅諧 振式壓力傳感器。它是利用各向異性腐蝕技術在硅片上加工一諧振膜片，然后在膜上制作激勵器（擴散電阻器）。當交變的電流在激勵器中流過時，產生熱應變，激勵諧振膜片，利用另一個擴散電阻器檢測其諧 振頻率的變化。還有一種諧 振阻器檢測其諧振頻率的變化。還有一種諧 振膜片式壓力傳感器，只不過是利用壓電反饋系統維持膜片振動，代替電磁激勵器而已，其它的部分基本相同。二是立體型諧 振式膜片壓力傳感器。它是在單晶硅膜上設置固定電極，而在其上方再加工可動電極和諧 振器，硅膜和諧振器分別利用各向異性腐蝕技術和外延技術制作。當壓力作用到膜片上時，膜片發生彎曲形變，通過支柱給諧振器施加了軸向力，從而使其諧振頻率發生變化。在這種情況下，激勵諧振器的方法有兩種，一是在電極間施加靜電方法；二是利用激光產生熱應變方法。 硅諧振式壓力傳感器是一種新型的結構型壓力傳感器，它比擴散硅式之類的物性型壓力傳感器具有更高的分辨率、靈活度和重復性。今后，隨著硅微機械加工技術和外延技術的發展，將會使硅諧振式壓力傳感器的性能得到更大的提高，其應用領域也將會更加拓寬。