要設置線性測量，將一個線性反射鏡連接到具有兩個緊螺紋的分光鏡上。 A3966SLBTR這個組合要件被稱為“線性干涉鏡”，可以作為激光束的參考路徑。線性干涉鏡位于ML10激光器和線性反射鏡之間的光束路徑，如圖8-7所示。分光鏡管上標有兩個箭頭以顯示其方位。箭頭應指向兩個反射鏡。

   ML10激光器的光束會射入線性干涉鏡，再分為兩道光束。一道光束（稱為參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道光束（測量光束）則通過分光鏡射人第二個反射鏡。這兩道光束會再反射回分光鏡，重新會聚之后返回激光頭，其中會有一個探測器監控兩道光束間的干涉。

   在線性測量時，其中一個光學元件保持不變，而另一個則沿著線性軸移動。定位測量是通過監控測量及參考光束間光路差異的變化來執行的（注意，兩個光學元件間的差分測量與ML10激光器的位置無關）。此種測量可與待測機床的標尺讀數比較，獲得機床精度的任何誤差。