從氦氖激光器1發出的激光束經平行光管后將光束變為光斑直徑達咖50mm的平行光，F1CA012V經反射鏡2至分光器3隨即將光束分成兩路：一路光逶過分光器經反射鏡4射人固定角錐棱鏡5；另一路由分光器反射至可動角錐棱鏡6。分光器3至固定角錐棱鏡5為一固定的光程；分光器3至可動角錐棱鏡6為一隨工作臺10移動而變化的光程，兩者的光程差為激光半波長的偶數倍時出現亮條紋，奇數倍 時出現暗條紋，所以工作臺10連續移動時就會產生亮暗交替變化的條紋。相移板7將干涉圖樣分為兩組，此兩組干涉條紋的位相差為900。分像棱鏡組8是將兩組位相差為90。的干涉條紋分別引入兩個光電倍增管，光電倍增管將交替變化的亮暗信號變為兩路位相差為90。的電信號，再經過放大整形電路實行倍頻處理傳遞給計算機。裝在橫梁上的雙管差動式動態光電顯微鏡9供作瞄準被檢尺上的刻線用。當工作臺10運動，即基準尺的刻線通過光電顯微鏡的兩個狹縫時，刻線的影像即被置于兩個狹縫后面的光電倍增管分別接收，經差動放大器，觸發器轉換成電脈沖作為計算機的指令信號，控制計算機使其計算結果顯示出來并打印記錄。

   周圍的空氣折射率可由折射率干涉儀測出，被測尺的溫度由鉑電阻溫度計與銅一康銅熱電偶測出，然后將其二項修正量在計算機上擺定，以便對測量結果進行自動修正。

   上面介紹的每種方法和原理，目前還在發展中。而且，這些數據會因具體條件而有很大的差別。為了得到針對具體應用對象的確切結果，常常要做實驗研究工作，或者借鑒類似的工作研究成果，這樣可使儀器設計更趨完善。