凈化間內的污染源是指任何影響產品生產或產品功能的一切事物。H30R1202由于固態器件的要求較高，所以就決定r它的潔凈度要求遠遠高于大多數其他工業的潔凈程度。實際上生產期間任何與產品相接觸的物質都是潛在的污染源。主要的污染源有：

   1．空氣

   2．廠務設備

   3．凈化間工作人員

   4．工藝使用水

   5．r藝化學溶液

   6．工藝化學氣體

   7．靜電

   8．工藝設備

   每種污染源產生特殊類型和級別的污染，需要對其進行特殊控制以滿足凈化間的要求。，

   普通空氣中含有許多污染物，只有經過處理后才能進入凈化問。最主要的問題是含有在空氣中傳播的顆粒，…般指微粒( particulate)或浮塵(aerosol)。普通空氣包含大量的微小顆粒或粉塵，微小顆粒（也稱為浮塵）的主要問題是在空氣中長時間飄浮．：而凈化間的潔凈度就是由空氣中的微粒大小和微粒含量來決定的。

   美國聯邦標準209E規定空氣質量由區域中空氣級別數(class number)來表示5。標準按兩種方法設定，一是顆粒大小，二是顆粒密度。區域中空氣級別數是指在l立方英尺㈩中所含直徑為0.5ht,m或更大的顆粒總數。一般城市的空氣中通常包含煙、霧、氣。每立方英尺有多達500萬個顆粒，所以是500萬級。隨著芯片部件尺寸的更新換代，不斷提高的芯片靈敏度要求越來越小的顆粒6“I。