水在氧化反應時是以水蒸氣的形態存在的，這種工藝稱為蒸氣氧化( steam  oxidation)、濕K4M51323PC-DG90氧化( wet oxidation)或高溫蒸氣氧化(pyrogenic steam)。濕氧化一詞來源于那個時代，當時氣態水來源于液態水。只有氧參與的氧化稱為干氧化。如果只用氧氣一定是干的（無水蒸氣的），而其他類型的生長氧化物可能用水蒸氣，并要求額外的工藝。

   請注意，當水蒸氣與硅反應時，方程的右邊有兩個氫分子(2H2)。初始時，這些氫分子被陷在二氧化硅層中，使其密度低于干氧生成的二氧化硅層。可是在惰性氣體中進行氧化加熱后，如在氮氣中（見7.4節），這兩種氧化在結構和性能上就非常相似了。

   圖7. 11二氧化硅厚度與時間、溫度之間的關系圖。，(a)干氧化；(b)水蒸氣

   圖7. 12硅和水蒸氣反應形成二氧化硅和氫氣