電阻、電壓和電流3個參數的關系服從歐姆定律。其數學表達式如下所示：式中尺為電阻，為電壓，AD822AR為電流，p為樣品電阻率，L為樣品長度，4為樣品橫截面積，形為樣品寬度，D為樣品高度。

   從理論上講，晶圓的電阻率可以用萬用表（見圖14.2）測量得到，通過測量給定尺寸的樣品在某一固定電流下的電壓值來計算晶圓的電阻率。然而用萬用表測量時，探針與晶圓材料之間酌接觸電阻太大，以至于不能精確測量低摻雜情況下半導體的電阻率，四探針測試儀是一臺用于測量晶圓和晶體的電阻率的設備。它有4個細小的，與電源和伏特計相連的內嵌式探針。一個四探針測試儀由4個排成一條線的細小金屬探針組成。外側的兩個探針連接電源，內側的兩個探針連接伏特計。在測量過程中，電流流過外側的兩個探針，并fi通過內側探針測量得出電壓的變化值（見圖14.3）?電流與電壓值之問的關系由探針之間的距離和材料的電阻率共同決定。網探針測試儀測量抵消r測試時探針與晶圓之間的

接觸電阻。