一般情況下昭的值為2,并且冼cσ)與煉(T)都與溫度r有指數關系。金屬離HBB15-1.5-A子運動的結果是在陰極局部形成空洞,造成開路失效,在陽極局部形成小丘造成“短路失效”。圖5.13所示是鋁金屬互連線的電遷移效應產生的局部空洞現象。

   圖5.14所示是電遷移加速壽命試驗的數據。電遷移失效的內因是薄膜導體內結構的非均勻性,外因是電流密度。

  圖513 鋁金屬互連線的電遷移效應產生的局部空洞現象

  圖514 電遷移效應的加速壽命試驗

   一般而言,鋁互連線表面覆蓋著一層氧化層薄膜,因此電導率會降低,使它難以發生電遷移。通常認為電遷移往往發生在晶粒的邊界上。但是,當鋁線的寬度縮小,使互連線的橫截面只有一個晶粒的尺寸(竹節結構,BambOo哎ruCmre),晶界的擴散(Grain boundaγ d踟sion)路徑減小,因此電遷移就會由原來的晶界擴散轉變為晶格擴散。