襯底又稱為支撐襯底,是外延層生長的基板,在LED的制備過程中起著支撐和固定的作用。BAS40-05-7-F最理想的襯底是外延層的同質材料襯底,其次是晶格匹配性能相近的襯底材料。

    對GaN基LED的外延生長而言,其同質GaN襯底是生長GaN外延層理想的襯底材料,但是GaN很難從自然界獲得,也很難用傳統晶體生長方法制取(C・aN熔點很高,達280O℃;其平衡蒸氣壓也很大,約4.5GPa)。因此,實際生產與科研活動中,一般使用其他晶體材料作為襯底。目前G洲基LED的外延生長多在藍寶石、SC、⒐等異質襯底上進行。其中,以藍寶石襯底(A1203)的使用最為普遍。6H―SC貝刂主要由美國科銳(Crcc)公司作為襯底應用于生產。si材料襯底,因其價格便宜且尺寸更大,也是被廣泛研究和使用的襯底材料之一。而Zno與GaN晶格失配也比較小(4%),但是其缺點是高溫穩定性很差,故其作為襯底的應用較為有限。表1~s列出部分襯底及其特性,為了便于比較,表中同時列出Ⅲ族氮化物的一些物理特性。