靜電放電(EsD)對電子工業的危害
發布時間:2016/9/24 19:57:45 訪問次數:705
電子工業中,摩擦起電和人體帶電常有發生,電子產品在生產、包裝運輸及裝聯成整機的加工、調試、EPA087-10A檢測的過程中,難免受到外界或自身的接觸摩擦而形成很高的表面電位。如果操作者不采取靜電防護措施,人體靜電電位可高達1.5~3kV。靜電損壞大體上分為兩類,這就是由靜電引起的浮塵埃的吸附以及由靜電放電引起的敏感元器件的擊穿。
①靜電吸附。在半導體和半導體器件制造過程廣泛采用Sio2及高分子物質的材料,由于它們的高絕緣性,在生產過程中易積聚很高的靜電,并易吸附空氣中的帶電微粒導致半導體介質擊穿、失效。為了防止危害,半導體和半導體器件的制造必須在潔凈室內進行。
②靜電擊穿。在生產中,人們常把對靜電反應敏感的電子器件稱為靜電敏感器件(staJcScllsⅡve Dcl/icc,SSD)。這類電子器件主要是指超大規模集成電路,特別是金屬氧化物半導體(MOs)器件。
超大規模集成電路集成度高、輸入阻抗高,受靜電的損害越來越明顯。靜電放電對靜電敏感器件可能造成硬擊穿或軟擊穿。硬擊穿是一次性造成器件的永久性失效,如器件的輸出與輸入開路或短路。軟擊穿則可使器件的性能劣化,并使其指標參數降低而造成故障隱患。
由于軟擊穿可使電路時好時壞(指標參數降低所致),且不易被發現,給整機運行和查找故障造成很大麻煩。軟擊穿時沒備仍能帶“病”I作,性能未發生根本變化,很Ⅱr能通過出廠檢驗,但隨時可能造成再次失效。
電子工業中,摩擦起電和人體帶電常有發生,電子產品在生產、包裝運輸及裝聯成整機的加工、調試、EPA087-10A檢測的過程中,難免受到外界或自身的接觸摩擦而形成很高的表面電位。如果操作者不采取靜電防護措施,人體靜電電位可高達1.5~3kV。靜電損壞大體上分為兩類,這就是由靜電引起的浮塵埃的吸附以及由靜電放電引起的敏感元器件的擊穿。
①靜電吸附。在半導體和半導體器件制造過程廣泛采用Sio2及高分子物質的材料,由于它們的高絕緣性,在生產過程中易積聚很高的靜電,并易吸附空氣中的帶電微粒導致半導體介質擊穿、失效。為了防止危害,半導體和半導體器件的制造必須在潔凈室內進行。
②靜電擊穿。在生產中,人們常把對靜電反應敏感的電子器件稱為靜電敏感器件(staJcScllsⅡve Dcl/icc,SSD)。這類電子器件主要是指超大規模集成電路,特別是金屬氧化物半導體(MOs)器件。
超大規模集成電路集成度高、輸入阻抗高,受靜電的損害越來越明顯。靜電放電對靜電敏感器件可能造成硬擊穿或軟擊穿。硬擊穿是一次性造成器件的永久性失效,如器件的輸出與輸入開路或短路。軟擊穿則可使器件的性能劣化,并使其指標參數降低而造成故障隱患。
由于軟擊穿可使電路時好時壞(指標參數降低所致),且不易被發現,給整機運行和查找故障造成很大麻煩。軟擊穿時沒備仍能帶“病”I作,性能未發生根本變化,很Ⅱr能通過出廠檢驗,但隨時可能造成再次失效。