由于質量流量計( mass flowmeter)特有的高精度，所以比流量計更好。按化學計量組成所需的流入爐管的氣體用其質量來計算材料量。標準的流量計以材料的體積來測量，NPC-1220-015G-1S由于溫度和壓力的不同，同樣體積的材料所含的物質量可能不同。半導體工藝用熱型的質量流量計，這個系統包含一個有兩個傳感器的加熱氣體的通道。當沒有氣體流過時，溫度傳感器的溫度相同；當有氣體流動時，下游的傳感器讀數比較高。兩個傳感器的讀數偏差與流過的熱質量（而非體積）有關。控制器由反饋機構來控制氣體以穩定的、一定量的質量流過質量流量計。氣體源也有一個由微處理器控制的閥門來計量氣體以一定的次序和一定的時間流人管．顯示廠一個質量流量計的基本結構。質量流量計可以被設計為一個定量值，并由在線傳感器檢測和用反饋輸出控制系統控制輸出量。氣體流量控制器中的管路材料是不銹鋼材料，用來保持高潔凈度，使氣體與爐管材料之間的化學反應達到最小化。

   氣體有來自廠房設施的液態氣源或附著在機器內部的小瓶氣源( lecture  bottle)，經過管道流入氣體控制器。

   有些工藝要求的化學氣體以氣體形式傳輸起來非常困難。在這種情況下，氣泡發生器和液體源就應運而生了。氣泡器包含一個石英部件，它用來使氣體液化。當氣泡通過液體，與在氣泡器頂端的源氣體混合，由載體氣體攜帶進入爐管。氣泡器被用在化、擴散和化學氣相淀積工藝中。