二氧化硅的物理化學性質穩定,不溶于KA555DTF水也不跟水反應。其典型的物理性質如下:

   ①石英晶體熔點為1732℃,而非晶態的二氧化硅薄膜無熔點,軟化點為1500℃;

   ②熱膨脹系數為0.5×106/℃;

   ③電阻率與制備方法及所含雜質有關,高溫干氧方法制作的氧化層電阻率可達10“Ω・cm,一般情況下在107~10ⅡΩ・cm之間;

   ④密度是sK`致密程度的標志,密度大意味著致密程度高,為2~2,2釅cm3;

   ⑤介電性特性,介電常數為3,9,介電強度為100~1000V/um;

   ⑥折射率在1.33~1.37之問。

   二氧化硅的化學性質不活潑,是酸性氧化物。它不與除氟、氟化氫和氫氟酸以外的鹵素、鹵化氫和氫鹵素以及硫酸、硝酸、高氯酸作用。氟化氫(氫氟酸)是唯一可使二氧化硅溶解的酸,生成易溶于水的氟硅酸;跟熱的強堿溶液或熔融的堿反應生成硅酸鹽和水;跟多種金屬氧化物在高溫下反應生成硅酸鹽。