在高溫下,晶格原子在格點平衡位置附近振動。基質原子有一定的概率獲得足夠的能量脫離晶格格點而成為間隙原子,因而產生一個空位。 MAX3041CWE雜質進入晶體后,占據晶格原子的原子空位(空格點).在濃度梯度作用下,向鄰近原子空位逐次跳躍前進。每前進一步,均必須克服一定的勢壘能量。雜質原子由一個格點跳到相鄰的另一個格點,替代原來的晶格原子從而在晶格中移動,如圖51(a)所示,為此,要求相鄰的位置必須是空位。另外,也可能擴散原子通過把它最近鄰的替代原子推到近鄰的間隙位置,并占據由此產生的空的替代位置來移動。總之,產生替位式擴散必須存在空位。

   對替位雜質來說,在晶格位置上勢能相對最低,在間隙處勢能相對最高,如圖52所示是替位式擴散勢能曲線。替位雜質在晶格格點位置上的勢能相對極小,相鄰的兩個格點之間,對替位雜質來講是勢能極大位置,即替位雜質要從一個晶格格點位置運動到相鄰的格點置上,必須要越過一個能量勢壘,勢壘高度為Ws。根據對稱性原理,替位雜質從一個格點位置運動到近鄰格點上,并不需要消 耗能量,然而這種運動必須要越過這個勢壘。