集束型裝備是典型的離散事件動態系統,存在各種各樣的不確定事件。這些不TBPS0R472J410H5Q確定事件主要是由設備維護、客戶需求變化、新產品試制、加工時間波動和設備自動清洗等幾方面的原因引起的。不確定事件的發生會影響集束型裝備的運行,造成系統性能指標的惡化。集束型裝備加工環境的高度不確定性主要體現在以下幾個方面。

   設各維護

   設各維護是不可遇見性的突發情況,雖然其發生頻率不是很高,但對集束型裝備狀態的影響很大。在集束型裝備內部,其加工模塊發生故障時,應先卸載晶圓,返回到冷卻模塊,再返回至裝載室,而在故障工序之后的加工模塊的晶圓應繼續完成加工。為了平衡工

序的工作負荷,有些工序經常設置多個模塊進行加工,這些模塊稱為并行模塊。當并行模塊中一個模塊出現故障時,加工過程有可能繼續進行。但由于模塊故障打破了原有的負荷平衡,改變了各工序晶圓的逗留時間,可能使得晶圓滯留時間約束得不到滿足。