研究集束型裝備的靜態調度是不夠的,晶圓的差異性決定晶圓的加工是一個動態的過程。LPO2506I-224LC來自廠商的數據表明:加工時間每50~20“最大有5s的偏差,機械手搬運時間每10~2仉有0~2s的偏差,晶圓定位失敗可能性則根據設各不同在3%~10%之間變化Ⅱ’蜊。在加工時間可變的條件下,系統的調度將變得極為復雜。因為加工時問的變化可能會導致不滿足晶圓滯留時間約束,調度方案不會像加工時間確定的問題那樣可以通過離線方式獲得。

   最先研究具有晶圓滯留時間約束和作業時間波動的集束型裝備調度問題。作者采用Pc“i網建模和分支技術,在采用盡早開始的調度策略下研究系統的可調度性,并將系統分為兩類:總是可以調度的(Alwγs Schc1ul曲lc)和總是不可調度的(NcvcrSchcdulablc)。如果是前者,一定存在可行調度方案。而對于后者,能否求得一個可行調 度則是一個懸而未決的問題。本章參考文獻[87~89]中對具有晶圓滯留時間約束和作業時間波動的雙臂集束型裝備的調度問題進行研究,將作業時問波動當作對正常加工的一種擾動,提出一個兩級實時調度體系。在上層,假定系統正常運行,求得滿足晶圓駐留時間 約束的離線調度;在底層,根據實時觀測到的結果,用實時控制策略以盡量消除作業時間的擾動。基于如上的調度體系和Pc缸網模型,本章參考文獻[89]提出一種實時控制策略,并證明在本章參考文獻[85]中一些被認定為總是不可調度的系統實際上是可調度的。在隨 后的研究中,作者首先分析作業時間變動對晶圓駐留時間的影響,給出駐留時間波動上限的解析表達式;然后根據駐留時間波動的分析,研究系統的可調度性及調度方法,給出系統可調度的條件及相應的調度算法,并且給出判斷可調度性和求解最優調度方案的解析表達式。如果系統是可調度的,就用解析表達式求得最優調度。這一研究結果是該領域的一個重大進展阝剔。但該調度算法仍然假設采用swap策略進行機械手的調度,沒有討論非Swap策略有可能得到更好解的情況。

   加工作業時間的微小隨機波動對集束型裝備調度提出更大的挑戰。在加工時間隨機波動的條件下,其解的可行性問題比在加工時間確定的條件下要困難得多;再者,在加工時間波動的條件下要進行實時調度,因而算法的實時性成為需要解決的重要問題。