不應拒收的橫截面積。如果下GAL16V8D-15LJ述兩個條件同時滿足,即使特定方向邊剖面上金屬化層橫截面小于50%[在滿足上述(1)~(3)的情況下為30%],也不應拒收。

   ①條件1:若能確認,缺少金屬層的方向邊剖面并不在主載流方向邊上。可通過下述方法做出這種確認:掃描芯片上所有其余的同一類型鈍化層臺階,或查閱由承制方提供的表示金屬互連關系的拓撲圖。

   ②條件⒉只是確定單個晶圓的接收與否。

   不應拒收的未被金屬化層覆蓋的方向邊。鈍化層臺階接收的條件如下:所有方向邊都應覆蓋有金屬化層并滿足上文中的接收條件。即使出現有某一方向邊剖面上未覆蓋有金屬化層的情況,如果下述兩個條件均得到滿足,則不應拒收。

   ①條件1:若能確認,缺少金屬層的方向邊剖面并不在主載流方向邊上。可通過下述方法做出這種確認;掃描芯片上所有其余的同一類型鈍化層臺階,或是查閱由承制方提供的表示金屬互連關系的拓撲圖。

   ②條件2:代表該批的取樣晶圓上,沒有一個其他樣品在主要載流方向邊上存在缺少金屬層的方向邊剖面。