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LTPS TFT的制造成本22nm到5nm節點超大規模邏輯集成電路

發布時間:2021/12/1 8:51:01 訪問次數:484

功率半導體是實現電能轉換的核心器件,能夠對電壓電流的運用進行有效控制,通過開關狀態的變化,實現逆變、整流、變頻等多種功能,控制對電子電力系統的能量輸出,將整個電子電力系統的能耗控制在最低范圍內,從而達到對能量的合理管理,降低能耗,減少碳排放。

功率半導體器件的不同結構決定著其不同的開關頻率、功率水平和擊穿場強,因此也決定著不同類型功率半導體的使用場景。

晶閘管、IGBT、MOSFET是當前市面上最常見的三類功率半導體器件。

與傳統平面器件相比,3D FinFET器件具有更好的通道靜電控制能力和更高的電流驅動能力,業界已成功開發用于制造22 nm到5 nm節點的超大規模邏輯集成電路。

然而,隨著技術節點縮小到3nm或更小,FinFET器件將面臨如靜電完整性、不可忽視的短通道效應、器件性能下降和工藝變異性增大,為了滿足性能和溝道控制特性,垂直堆疊的GAA nanosheet晶體管(以下簡稱NS晶體管以及NS溝道)結構一直被視為最有應用前景的新型器件結構。

NS溝道釋放后會在子鰭頂部形成一個寄生的段溝道平面FET或一個偏扁平的FinFET。因此,由子鰭引起的寄生溝道效應將導致電特性的退化,這已成為一個不可避免的工藝難題挑戰。

據三星電子推測,將于明年上市的Micro LED產品的LTPS TFT生產費用為,89英寸產品(49個TFT)為3500美元至4000美元,101英寸產品(64個)為4500美元至5000美元出頭,114英寸產品(81個)為5500美元至6000美元左右。

但是,若如業界推測,LTPS TFT的制造成本超過三星電子的預測時,計劃有可能會出現差池。

據悉,Micro LED用LTPS TFT制程所需的光罩為24道。由于晶體管和排線增加,需要很多光罩。六代OLED一般需要11至12道光罩。光罩數越多,其技術難度就越高。


(素材來源:21ic.如涉版權請聯系刪除。特別感謝)

功率半導體是實現電能轉換的核心器件,能夠對電壓電流的運用進行有效控制,通過開關狀態的變化,實現逆變、整流、變頻等多種功能,控制對電子電力系統的能量輸出,將整個電子電力系統的能耗控制在最低范圍內,從而達到對能量的合理管理,降低能耗,減少碳排放。

功率半導體器件的不同結構決定著其不同的開關頻率、功率水平和擊穿場強,因此也決定著不同類型功率半導體的使用場景。

晶閘管、IGBT、MOSFET是當前市面上最常見的三類功率半導體器件。

與傳統平面器件相比,3D FinFET器件具有更好的通道靜電控制能力和更高的電流驅動能力,業界已成功開發用于制造22 nm到5 nm節點的超大規模邏輯集成電路。

然而,隨著技術節點縮小到3nm或更小,FinFET器件將面臨如靜電完整性、不可忽視的短通道效應、器件性能下降和工藝變異性增大,為了滿足性能和溝道控制特性,垂直堆疊的GAA nanosheet晶體管(以下簡稱NS晶體管以及NS溝道)結構一直被視為最有應用前景的新型器件結構。

NS溝道釋放后會在子鰭頂部形成一個寄生的段溝道平面FET或一個偏扁平的FinFET。因此,由子鰭引起的寄生溝道效應將導致電特性的退化,這已成為一個不可避免的工藝難題挑戰。

據三星電子推測,將于明年上市的Micro LED產品的LTPS TFT生產費用為,89英寸產品(49個TFT)為3500美元至4000美元,101英寸產品(64個)為4500美元至5000美元出頭,114英寸產品(81個)為5500美元至6000美元左右。

但是,若如業界推測,LTPS TFT的制造成本超過三星電子的預測時,計劃有可能會出現差池。

據悉,Micro LED用LTPS TFT制程所需的光罩為24道。由于晶體管和排線增加,需要很多光罩。六代OLED一般需要11至12道光罩。光罩數越多,其技術難度就越高。


(素材來源:21ic.如涉版權請聯系刪除。特別感謝)

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