EUV的極紫外光光刻機的輸出功率是250瓦，要達到這樣的輸出功率，需要0.125萬千瓦的電力輸入才能維持——相當于2777塊3090ti顯卡全功率運行。就是這樣的“電力黑洞”，僅維持極紫外光源這一項工作，一天就要消耗近3萬度電。

超高功率的極紫外激光光源在工作時會產生大量熱量，為了維持光源穩定，也需要優秀且完備的冷卻、散熱系統來保證設備正常工作。

為了維持光線在光刻機內的留存率，光刻機內需要保持真空狀態，來避免本就“脆弱”的極紫外光線被空氣吸收。

接口豐富,滿足污染源監測的各種傳感器的接入.數據采集傳輸儀TS910具備WAN/LAN、RS232接口、RS485接口,I2C接口、TTL電平串口、開關量輸入接口、 模擬量輸入接口、繼電器輸出、電源輸出等；

支持視頻數據的采集和上傳，可遠程監測工業園器污染源現場情況；

支持多中心通信，可同時與多個后臺服務器進行通信，對接企業、政府等相關環保部門；

多方式維護，支持本地網口或WiFi接入、支持遠程接入方式對設備維護、管理、升級；

接收平臺下發指令，可對現場治污設備、排放閘門、開關等進行遠程控制及監測；

斷電、斷網續傳和數據自動補發功能，保證數據完整性；

短波長的另一項優勢是高準確度。工作頻率為76–81GHz(對應波長約為4mm)的毫米波系統將能夠檢測小至零點幾毫米的移動。完整的毫米波雷達系統包括發送(TX)和接收(RX)射頻 (RF)組件，以及時鐘等模擬組件，還有模數轉換器(ADC)、微控制器(MCU)和數字信號處理器(DSP)等數字組件。

過去，這些系統都是通過分立式組件實現的，這增加了功耗和總體系統成本。其復雜性和高頻率要求使得系統設計頗具挑戰性。

毫米波雷達可發射波長為毫米量級的信號。在電磁頻譜中，這種波長被視為短波長，也是該技術的優勢之一。誠然,處理毫米波信號所需的系統組件(如天線)的尺寸確實很小。