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金屬化條平均失效時間

發布時間:2012/4/27 19:29:23 訪問次數:620

    金屬化條平均失效時間( MTF)可通STA408A過解Black電遷移方程得到:
    MTF= (AlCJ 2)/exp(Q/K T)   
    式中,A為金屬化條截面積;C為相關因子,與金屬條密度、電阻率、晶粒大小、離子質量、幾何尺寸有關;J為電流密度;Q為金屬條原子遷移激活能。T為金屬條溫度。
    金屬薄膜離子激活能Q=U。+Uf時,即由空位形成能Uf和空位運動能U。之和,介質表面可抑制孔位形成使U,提高,從而可提高MTF。式(4.4)就可表示為
    D=Doe- (Um+Us)/KT    (4.6)
   表4.4是不同金屬化系統比較,不同金屬化系統會產生不同的MTF。

                   

    介質覆蓋效應
    金屬化表面玻璃鈍化層作用主要是提高激活能Q、防腐蝕、防劃傷和防離子沾污等。
    表4.5是介質覆蓋效應,有無介質覆蓋層將產生不同的激活能Q。尤其在Al膜厚度3000A和4000A時特別明顯。

                  

    金屬化條平均失效時間( MTF)可通STA408A過解Black電遷移方程得到:
    MTF= (AlCJ 2)/exp(Q/K T)   
    式中,A為金屬化條截面積;C為相關因子,與金屬條密度、電阻率、晶粒大小、離子質量、幾何尺寸有關;J為電流密度;Q為金屬條原子遷移激活能。T為金屬條溫度。
    金屬薄膜離子激活能Q=U。+Uf時,即由空位形成能Uf和空位運動能U。之和,介質表面可抑制孔位形成使U,提高,從而可提高MTF。式(4.4)就可表示為
    D=Doe- (Um+Us)/KT    (4.6)
   表4.4是不同金屬化系統比較,不同金屬化系統會產生不同的MTF。

                   

    介質覆蓋效應
    金屬化表面玻璃鈍化層作用主要是提高激活能Q、防腐蝕、防劃傷和防離子沾污等。
    表4.5是介質覆蓋效應,有無介質覆蓋層將產生不同的激活能Q。尤其在Al膜厚度3000A和4000A時特別明顯。

                  

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