根據氧化層的擊穿是由于空穴被陷入并積聚在氧化層內的局部陷阱（弱斑）處，L123CB陷入的空穴流可表示為  

   (Eox)是F-N電流密度，它正比于e_BEox，a是電離碰撞空穴產生系數cc Eox。Ce一H/EOX，B為與電子有效質量和陰極界面勢壘有關的常數(≈240MV／cm)，H≈80MV／cm，為經歷的時間。

   當Q。達到某一臨界值時即產生擊穿，時間為tBD

   B+HjL

   tBD OC eEOX oC eEOX

   實際氧化層中可能存在局部減薄區（如盲孔），局部電荷的積累，存在雜質或沾污，使局部電場增強或界面處勢壘減弱，這都使F-N電流增加，柵氧提前擊穿。如果不考慮其擊穿的物理機制，僅從擊穿的后果來考慮，引入等效氧化層減薄這一概念，上述柵氧的各種缺陷用一等效減薄量來表示，則上式成為

    Xox為柵氧名義厚度，AXox是由于存在缺陷而使柵氧減薄的量，X。，，是等效柵氧厚度，ro為一常數。這樣柵氧擊窮時間的統計分布就可并入AXox的統計分布中，而局部減薄處的面積并不重要。當某個局部處發生短路，整個柵氧就發失效。根據這一思路，就可編制程序對柵氧可靠性加以模擬，這就是RERT（美國加州伯克利大學可靠性模擬工具）中CORS(電路氧化層可靠性模擬器)的數學基礎。