微觀技術在公眾的感覺中意味著“小”，在科學中是指十億分之一。因此，IRFU430A特征圖形尺寸和柵條的寬度以微米( micrometer)來表示，如0.018 ym。納米(1×10』m)正在被廣泛使用，I：述的柵條寬度則力180 nm（見圖1.17）。1叫。

   在半導體協會的國際技術發展路線圖( ITRS)中，對半導體通向未來納米的道路做了描繪。柵條的寬度到2016年會達到10 nm或更小。到達這些量級，器件的工作部分僅由幾個原子或分子組成。

   這并不容易實現。隨著器件尺寸變得更小，會有一系列可預見的事情，其優點是更快的運行速度和更高的密度。然而，圖1. 17  比較長度單位更小的尺寸要求更潔凈的環境、增加工藝控制、更精密的圖形化設備及更多的事項。

   晶圓的直徑將會達到450 mm以上，工廠的自動化水平也將遍及到機器之間，并且帶有集成的工藝監測系統。更多高水平的工藝將會要求更高產量的晶圓制造廠，這些工廠具有更精密的[藝自動化和工廠管理。，這些大工廠的成本將高達100億美元“1。來自巨大投資的壓力迫使研發和建廠的速度更快。    。

   到2016年，半導體產業和集成電路將會與現今大不相同，并將達到硅晶體管物理上的極限，，硅以后的生產材料還沒有確定，但是產業將繼續成長。并非所有集成電路必須使用最先進的技術。烤面包機、電冰箱和汽車不太可能使用最新的尖端件。新材料正在實驗室中研發．．化合物半導體，如鎵／砷化物( GaAs)就是候選者。

   “納米”這個木語的另一個用法是一種建立非常小的結構的方法，又稱為納米技術( nano-te．．hnology)。它足基于碳平面晶體結構的發現，其形狀像一個空管（納米管）。這些結構具有許多應用前景。在半導體技術中，這些碳原子能被摻雜，擔當電子器件的角色，最終形成電子電路并對太陽能器件制造商是有益的。