在垂直式反應爐中，更均勻的OM6357EL1/3C5/7（層流）氣流使得工藝均勻度得到加強。在水平式反應爐咀，蓖力會使混合的氣體產生分離傾向。在垂直式反應爐中，氣體平行運動，使重力造成氣體分離的問題影響減到最小，舟的旋轉使湍流產生的可能性減到最小。垂直式反應爐產生的工藝漂移量僅為水平式反應爐生產的60%15．

   伴隨著水平式反應爐中石英舟容易產生的刮擦爐管內壁而產生顆粒的問題，在垂直式反應爐中被徹底解決了，并且潔凈系統范圍中需要的裝卸區面積更小16。

   一個最具吸引力的方面是垂直式反應爐的占地面積很小。該系繞小于傳統的4層系統。垂直式反應爐提供r在凈化間外面裝載晶圓的可能性，這只需讓裝載入口開在凈化間內。在這種布局里，反應爐在凈化間的占地面積為零。維修可以在維修區進行。另一個可能_的布局是把垂直式反應爐按島塊／集群布置。幾臺反應爐圍繞一個機械手分布，這個機械手可以分別給幾臺反應爐裝片。這樣設計更簡單，設備可靠性更高，維修費用更低，正常運行時間更長。垂直式反應爐可以配置成在晶圓制造中需要的氧化、擴散、退火和淀積的任一種工藝。

   對于垂直式反應爐，自動化是一個巨大的優勢。由傳遞晶圓的機器人從一個FOUP將晶圓裝載在一個靠近1級環境的爐子承片架上。同樣，升溫和降溫更快，并且占地面積也明顯比堆疊的水平式爐管小。

   垂直式反應爐的優點：

  ·適用大直徑晶圓

  ·更嚴格的溫度控制（轉動）

  ·改善了氧化層的均勻性

   ·更快的升溫和降溫

   ·在裝卸臺中更潔凈的工藝環境

   ·自動化兼容