濺射淀積內部金屬堆疊
發布時間:2015/11/15 14:25:44 訪問次數:936
濺射淀積內部金屬堆疊:鉛或TMS320DM6467ZUT7錫焊料球是首選凸點材料。然而,在大部分集成電路中的最后金屬層是鋁,它有容易被氧化成絕緣的氧化鋁的缺點。將鋁和凸球電連接要求一個凸點F-金屬化( UBM)金屬疊層(又稱栓塞)j7。金屬疊層還必須鍵合到通孑L的各面,基本封住下面集成電路壓點來防止污染。UBM工藝以通過濺射刻蝕或濕法化學處理去除氧化鋁層為起點。
典型的金屬堆疊有4層:
·對于“濕”硅的增黏層( Ti/Cr/AI)
·擴散阻擋層,以防無用的金屬擴散進集成電路從而引起污染(Cr: Cu)
·助焊層( Cu/Ni: V)
·氧化阻擋層,以防與凸點金屬( Au)產生機械或電連接
濺射淀積內部金屬堆疊:鉛或TMS320DM6467ZUT7錫焊料球是首選凸點材料。然而,在大部分集成電路中的最后金屬層是鋁,它有容易被氧化成絕緣的氧化鋁的缺點。將鋁和凸球電連接要求一個凸點F-金屬化( UBM)金屬疊層(又稱栓塞)j7。金屬疊層還必須鍵合到通孑L的各面,基本封住下面集成電路壓點來防止污染。UBM工藝以通過濺射刻蝕或濕法化學處理去除氧化鋁層為起點。
典型的金屬堆疊有4層:
·對于“濕”硅的增黏層( Ti/Cr/AI)
·擴散阻擋層,以防無用的金屬擴散進集成電路從而引起污染(Cr: Cu)
·助焊層( Cu/Ni: V)
·氧化阻擋層,以防與凸點金屬( Au)產生機械或電連接