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與象限探測器相比,PSD有如下優點

發布時間:2016/2/6 17:58:11 訪問次數:3218

   與象限探測器相比,PSD有如下優點:

   ①對光斑的形狀無嚴格要求,DAC1006LCJ即輸出信號與光的聚焦無關,只與光的能量中心位置有關,這給測量帶來很多方便;

   ②光敏面上無須分割,消除了死區,可連續測量光斑位置,位置分辨率高,一維PSD可達0.2 ym;

   ③可同時檢測位置和光強。PSD器件輸出總光電流與入射光強有關,而各信號電極輸出光電流之和等于總光電流,所以從總光電流可求得相應的入射光強。

   光電位置傳感器廣泛地應用于激光束的監控(對準、位移和振動)、平面度檢測和二維位置檢測系統。

   但是,PSD器件的固有特性決定了其具有非線性(圖9.44所示為型號為S1544的PSD,光斑直徑為200 ym時的非線性)。PSD的線性度主要取決于在制造過程中表面擴散層和底層材料電阻率的均勻性,以及有效的感光面積等多種因素,而且非線性沒有明確的公式作為依據。一般而言,在距離中心2/3的范圍內PSD的線性度較好。以浙江大學研究的國內領先的PSD為例,對于二維測量,PSD光敏面面積為3mmx3 mm.四邊形結構,中央60%有效光

敏區域的均方根非線性達到0.15%。如果將此器件應用于大尺寸測量的位置探測,則光斑直徑不能大于1.8 mm,否則必須在PSD前方加入透鏡聚焦,這無疑增加了系統的誤差。

   與象限探測器相比,PSD有如下優點:

   ①對光斑的形狀無嚴格要求,DAC1006LCJ即輸出信號與光的聚焦無關,只與光的能量中心位置有關,這給測量帶來很多方便;

   ②光敏面上無須分割,消除了死區,可連續測量光斑位置,位置分辨率高,一維PSD可達0.2 ym;

   ③可同時檢測位置和光強。PSD器件輸出總光電流與入射光強有關,而各信號電極輸出光電流之和等于總光電流,所以從總光電流可求得相應的入射光強。

   光電位置傳感器廣泛地應用于激光束的監控(對準、位移和振動)、平面度檢測和二維位置檢測系統。

   但是,PSD器件的固有特性決定了其具有非線性(圖9.44所示為型號為S1544的PSD,光斑直徑為200 ym時的非線性)。PSD的線性度主要取決于在制造過程中表面擴散層和底層材料電阻率的均勻性,以及有效的感光面積等多種因素,而且非線性沒有明確的公式作為依據。一般而言,在距離中心2/3的范圍內PSD的線性度較好。以浙江大學研究的國內領先的PSD為例,對于二維測量,PSD光敏面面積為3mmx3 mm.四邊形結構,中央60%有效光

敏區域的均方根非線性達到0.15%。如果將此器件應用于大尺寸測量的位置探測,則光斑直徑不能大于1.8 mm,否則必須在PSD前方加入透鏡聚焦,這無疑增加了系統的誤差。

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