此測量系統具有一千萬倍以上的放大能力，即1 nm的變化可以被顯示為10 mm，因此對這種測量系統來說，AAT3242ITP-WI-T1考慮其分辨率是更為突出的問題，是能可靠反映的最小變化量。對此種系統限制分辨率的不可靠因素，就是系統本身工作時的噪聲，小于噪聲的分辨率是無意義的。

   對于納米級或亞納米級的高分辨率儀器來說，用測定的方法來確定其分辨率是很困難的。例如，隧道顯微鏡和原子力顯微鏡其橫向分辨率可以通過測量經處理的碳原子結構來認定，在高度方向上則還要借助光柵來標定范圍。不過對幾乎所有高分辨率儀器來說，除了其工作原理外，最后限制分辨率提高的是儀器本身的噪聲。影響其垂直分辨率的主要因素就是從被測表面和儀器內部光學件界面反射回光，以及激光管噪等。一般認為此類儀器的分辨率應為它在實際工作條件下噪聲的1.5～2倍。

   本儀器噪聲的測量，足在儀器對焦準確、工作臺和試件（平面鏡）保持不動、開動掃描驅動電動機但不接上離合器（有振動、無掃描）時進行的，圖11.17所示是實測結果。儀器噪聲的大小用粗糙度參數Ra、Rz來表示，計算結果顯示于圖形上。

   可以看出，其Ra<0.05 nm，尺：<0.4 nm，按照常規，分辨率按它在實際工作條件下噪聲的1.5倍計算，實際分辨率Ra可達到O.l nm，R：可達到0.5 nm。