生成氨化物和碳化物的反應
發布時間:2016/6/11 17:23:30 訪問次數:559
碳化物的沉積通常通過鹵化物和碳氫AD7892ARZ-2化物相互反應獲得,其典型的化學反應式為
TC△(氣)+CH4(氣)-△C(固)+4HCl(氣)
在氮化物的沉積過程中,氮的來源主要是通過氨氣的分解來提供的,最典型的應用是氮化硅的沉積,其化學反應式為
3siH4(氣)+4NH3(氣)→Si3N4(固)+12H2(氣)
各種CVD方法的優缺點如表2.4所示。表2.5是幾種化學氣相沉積方法的沉積條件、沉積能力、薄膜性能及其應用的比較。
碳化物的沉積通常通過鹵化物和碳氫AD7892ARZ-2化物相互反應獲得,其典型的化學反應式為
TC△(氣)+CH4(氣)-△C(固)+4HCl(氣)
在氮化物的沉積過程中,氮的來源主要是通過氨氣的分解來提供的,最典型的應用是氮化硅的沉積,其化學反應式為
3siH4(氣)+4NH3(氣)→Si3N4(固)+12H2(氣)
各種CVD方法的優缺點如表2.4所示。表2.5是幾種化學氣相沉積方法的沉積條件、沉積能力、薄膜性能及其應用的比較。
相關技術資料- 6-11生成氨化物和碳化物的反應
公網安備44030402000607
