MOCVD尾氣中除了含有未反應完的氫化物、MO源和某些反應副產物等有毒氣體,還有很多粉塵顆粒。 A914BYW-2R2M在生產中必須將有粉塵和毒尾氣通過尾氣系統進行除塵及無害化處理,使其達到規定排放標準以下。

   一般尾氣處理系統主要包括真空泵前級處理和從真空泵出來后的排放處理(如圖⒈⒓所示)。在真空泵前級的尾氣處理方面,通常在反應腔排氣口和控制反應腔壓力的蝶閥之間增設過濾器,這樣一來,所有從反應室排除的尾氣物質,必須先經過過濾器(包括顆粒冷凝)濾掉直徑小于2um的粉塵,使顆粒粉塵不堵塞蝶閥或真空泵,從而保證系統能夠長期正常工作。紅黃光LED外延生長后的尾氣,因其包含有含As和P的附產物,劇毒且易燃,其處理比GaN材料外延生長后的尾氣處理要更為嚴格。通常會特別安排磷阱吸附器和毒氣吸附器(TGA)進行吸附。而且,為防止熱的尾氣在管路中的凝結,會對尾氣管路進行加熱。但是,從真空泵出來的氣體仍然含有毒氣,在排放到大氣之前需要將有毒物質濃度降低到規定排放標準以下。常用的尾氣處理方法主要有利用化學反應吸收毒氣的濕式過濾器P叨;利用吸附劑吸附毒氣的活性炭過濾器田l];以及比較經濟的燃燒法――通過熱分解、燃燒或使有毒物質轉化為氧化物粉塵,再將粉塵過濾。