MOCVD設備中的尾氣處理系統、智能控制A914BYW-220M與數據系統,以及原位實時監測系統等均是保障設備安全可靠和功能完整之重要的子系統。限于篇幅,本節只做簡單介紹,更多詳細內容可參閱陸大成的著作。

   MOCVD尾氣中除了含有未反應完的氫化物、MO源和某些反應副產物等有毒氣體,還有很多粉塵顆粒。在生產中必須將有粉塵和毒尾氣通過尾氣系統進行除塵及無害化處理,使其達到規定排放標準以下。

   一般尾氣處理系統主要包括真空泵前級處理和從真空泵出來后的排放處理。在真空泵前級的尾氣處理方面,通常在反應腔排氣口和控制反應腔壓力的蝶閥之間增設過濾器,這樣一來,所有從反應室排除的尾氣物質,必須先經過過濾器(包括顆粒冷凝)濾掉直徑小于2um的粉塵,使顆粒粉塵不堵塞蝶閥或真空泵,從而保證系統能夠長期正常工作。紅黃光LED外延生長后的尾氣,因其包含有含As和P的附產物,劇毒且易燃,其處理比GaN材料外延生長后的尾氣處理要更為嚴格。