在中晟MOCVD等新型技術設備中,輻射高溫計和反射率計已被成功集成于同一套測量系統內,使得設備裝配簡潔的同時提升了測量功能和數據處理能力。 A914BYW-4R7M翹曲率測量儀,又稱光束撓度計(dcncct。mcter),專用來測量外延片的翹曲曲率。在外延生長中,外延層與襯底材料通常為異質外延生長,這樣就容易產生應力。應力使外延片發生翹曲。通過測量翹曲率,來計算異質外延生長時由于晶格失配和熱失配所產生的應力,反之可利用相關信息優化外延生長工藝和托盤的設計,實現襯底片上均勻的溫場分布和材料的外延均勻生長,避免翹曲甚至裂紋出現,保證外延材料的高質量。例如,在GaN基LED外延生長過程中,通過監測翹曲率知曉實時生長時的應力情況,及時調整參數以規避過大彎曲,使得外延生長成功。又如,通過預知外延片在不同階段翹曲情況,可以相應改變生長參數使在生長InGaN量子阱時襯底處于平坦狀態且與基座有良好的熱接觸,從而改善襯底溫度均勻性,提高器件發光波長的均勻性。

   圖13所示的單光束撓度計四和多光束應力傳感器撓度計(MOsS)P3]都是利用激光束近垂直入射到翹曲的外延片上反射光斑的位移,得出原位測量生長溫度下的外延片的翹曲率,從而計算出應力P刨。