外延片光致發光光譜及掃描成像系統
發布時間:2016/11/5 19:14:54 訪問次數:858
外延片光致發光光譜及掃描成像系統
光致發光是指物體依賴外界光源的照射,從而獲得能量,產生激發導致發光的現象。JANTX2N6770從本質上講,光致發光是材料中的電子吸收光子的能量躍遷到較高能級的激發態,在躍遷回低能級時,以光輻射的方式釋放能量。外延片PL譜掃描成像系統用于快速檢測外延片的質量,通過逐點掃描能夠將外延片的積分光強、主波長、峰值波長、半峰寬等參數以繪圖的形式顯示它們在外延片中的分布。從圖5-17的光致發光掃描成像圖可以很直觀地通過不同的顏色看出外延片表面各個位置的發光強度等參數的誤差。
外延片光致發光光譜及掃描成像系統
光致發光是指物體依賴外界光源的照射,從而獲得能量,產生激發導致發光的現象。JANTX2N6770從本質上講,光致發光是材料中的電子吸收光子的能量躍遷到較高能級的激發態,在躍遷回低能級時,以光輻射的方式釋放能量。外延片PL譜掃描成像系統用于快速檢測外延片的質量,通過逐點掃描能夠將外延片的積分光強、主波長、峰值波長、半峰寬等參數以繪圖的形式顯示它們在外延片中的分布。從圖5-17的光致發光掃描成像圖可以很直觀地通過不同的顏色看出外延片表面各個位置的發光強度等參數的誤差。
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