光刻膠的性能因素已經被詳細地說明了，AD8073JR基本光刻十步法工藝每一步都和光刻膠的物理性質和化學性質有一定聯系。而這些性質都受光刻膠生產商的嚴格控制。

   光刻膠是一種液體，它通過旋轉的方式涂到晶圓表面。光刻膠留在晶圓表面的厚度是由涂膠工藝的參數和光刻膠的屬性——固體含量( solid content)和黏度(viscosity)來決定的。

   光刻膠是由聚合物、光敏劑和添加劑混合在溶劑中構成的。不同的光刻膠會包含有不同數量的固體物。這個數量指的是光刻膠的固體含量，它是由光刻膠中質量百分比來表示的。固體含量的范圍通常在20%—40%之間3j。

   黏度是液體流動數量上的測量。高黏度液體流動較慢，如拖拉機油。低黏度液體比較容易流動，如水。對于這兩種情況，流動的機理是一樣的。當液體被灌注時，液體中的分子之間相互滾動。當分子滾動時，它們之間存在一種引力。這種引力起到了一種類似于內部摩擦力的作用。黏度就是這種摩擦力的度量。

   黏度可以通過幾種不同的技術方法來測量。大多光刻膠生產商是通過在光刻膠中轉動葉片來測量黏度的。黏度越高．在恒定速度下轉動葉片所需要的力就越大。旋轉葉片的測量方法說明了黏度的力相關性。

   黏度的單位是厘泊( centipoise)①（1 poise的百分之一）。它以法國科學家Poisseulle的名字命名，他研究了流體的黏滯流動。1 poise等于每厘米l達因(dyne)秒。黏度單位厘泊更準確地說明了絕對黏度( absolute viscosity)。

   另外一種單位稱為運動黏度( kinematic viscosity)，它是厘斯(centistoke)②，是由絕對黏度（厘泊）除以光刻膠密度而得到的。黏度會隨著溫度的變化而變化；因此，它的指定值是在特定溫度條件下聲明的，通常是25℃。黏度是在涂膠工藝中決定光刻膠厚度的主要參數。黏度和光刻膠固體含量密切相關。固體含量越高，光刻膠黏度就越高。