粗硅的提純是一系列物理化學過程。因為硅不K4S561632E-UC75溶于酸,所以粗硅的初步提純一般用酸洗方法,先去除含量大的鐵、鋁等金屬雜質;進一步的提純一般采用蒸餾方法,而蒸餾方法只能提純液態混合物,所以需要將酸洗過的硅轉化為液態硅化物,提純后再將液態硅化還原,由此得到電子級高純度的多晶硅,純度達99.9999999%以上,即11N硅。

   酸洗是一種化學提純方法,用鹽酸、工水、氫氟酸等混合強酸浸泡、清洗粗硅,溶解去除粗硅中的鐵、鋁等主要金屬雜質。初步提純后,硅的純度可達99.7%以上。蒸餾提純是一種物理提純方法,是利用液態物質沸點不同進行液態混合物提純的方法。首先,將酸洗過的硅氧化生成液態硅化物,可用鹽酸或氯氣作為氧化劑,將硅轉化為⒏HC圮或⒏C辶。常溫下⒏HC1和⒏C辶都是液態,⒏HC廴的沸點為31,5℃,SiCh的沸點為57.6℃。然后,通過在蒸餾塔中蒸餾提純sHC廴或sC1】,得到高純度的SlHC辶或⒊C1流出物。最后,還原已提純的sHC1或⒊C1。氫氣易于凈化,且在硅中溶解度極低,因此多用氫氣作為sHC辶或sC辶的還原劑,還原得到硅。