與擴散泵類似的還有分子泵
發布時間:2017/5/21 17:32:23 訪問次數:705
與擴散泵類似的還有分子泵。分子泵是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子,使之獲得 BCM5786KMLG定向速度,從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級泵抽走的一種真空泵:分子泵有3種:①牽引分子泵,氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量,被驅送到泵的出口。②渦輪分子泵,是靠高速旋轉的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態下工作。如圖⒏6所示是渦輪分子泵剖視圖。③復合分子泵,是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯組合起來的一種復合型的分子真空泵。分子泵相對于擴散泵來說更清潔。
為獲得清潔的超高真空,三級泵還常采用氣體吸附泵,如低溫泵、鈦升華泵等。
與擴散泵類似的還有分子泵。分子泵是利用高速旋轉的轉子把動量傳輸給氣體分子,使之獲得 BCM5786KMLG定向速度,從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級泵抽走的一種真空泵:分子泵有3種:①牽引分子泵,氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量,被驅送到泵的出口。②渦輪分子泵,是靠高速旋轉的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態下工作。如圖⒏6所示是渦輪分子泵剖視圖。③復合分子泵,是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯組合起來的一種復合型的分子真空泵。分子泵相對于擴散泵來說更清潔。
為獲得清潔的超高真空,三級泵還常采用氣體吸附泵,如低溫泵、鈦升華泵等。
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