真空系統中的氣體壓力,即真空度可以用多種不同的真空計  圖⒏6 渦輪分子泵剖視圖(又稱真空規)來測量。常用的真空計主要有電容壓力計、 BCM5906MKMLG熱偶規、電離規和復合真空計。

   (1)電容壓力計屬于機械類的規表,依靠待測真空室和參考容積之間的壓力差異來產生機械上的偏移,電容壓力計就是捕捉薄的金屬隔膜的偏移。電容壓力計無污染,與被測工藝氣體種類無關,測量范圍是低真空度。

   (2)熱偶規是利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關,而元件的

溫度又與氣體的熱傳導有關的原理來測量真空度的真空計。如圖⒌7所示是熱偶規構造原理圖,恒定電流通過加熱絲,使之加熱,熱的加熱絲通過氣體熱傳導對外散熱,真空度越高氣體散熱越慢,加熱絲溫度也就越高;反之,溫度就越低。用熱電偶測出加熱絲的溫度,從而得出真空室的真空度。熱偶規的測量范圍是低、中真空度。

   (3)電離規又稱熱陰極電離計,由筒狀收集極、柵網和位于柵網中心的燈絲構成,筒狀收集極在柵網外面。熱陰極發射電子電離氣體分子,離子被收集極收集,根據收集的離子流的大小來測量氣體壓強。熱陰極在真空度低于102Pa的空氣中可能被氧氣氧化而熔斷,因此電離規的測量范圍是真空度高于102Pa的高、超高真空度。

   (4)復合真空計由熱偶規與熱陰極電離計組成,測量真空度范圍從

正常大氣壓至105Pa。

   (5)⒊A規是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離計。收集極是一根細絲,放在柵網中心,燈絲放在柵網外面,因而可以減小軟X射線影響,延伸測量下限,可測超高真空度。