第一級衍射光同人射光與垂直軸成的夾角相等。離軸照明的方式有很多,如圖7.88所示,主要有環形照明(annular)、嫣°四級照明(quasar)、XY軸上四級照明(c quad)、偶極照明以及混合照明。每一種照明方式對光刻工藝的影響都不一樣。UC37136M通常,對于任意圖形,環形照明 使用的比較多,因為它能夠更好地照顧到各種圖形的丁藝窗口。如圖7.89所示,由于成像需要至少兩束光的干涉,環形照明中對成像有貢獻的部分僅僅是環形的一部分,剩余部分的衍射光由于沒有能夠進人光瞳,所以只能夠在硅片上起到均勻照明,即形成背景曝光。這種背景曝光如果太大,比如當空間周期變得太接近0.5^/NA,會使對比度變得太小,如圖7.90(a)、圖7.90(b)所示。

　環形照明在光瞳上的分布函數對成像起作用的部分,為了避免插圖顯得復雜,這里只畫出了右半部分,左半部分的衍射有效部分同右半部分對稱。環形照明在光瞳上的分布函數對成像起作用的部分隨空間周期逼近分辨率極限而變、空問像對比度也因此變小。圖7,90(a)較大空間周期的衍射譜和空間像;圖7.90(b)簾問周期在分辨率極限附近(接近0,5^/NA)的衍射譜和空間像;為了避免插圖顯得復雜,這里只畫出了右半部分,左半部分的衍射有效部分同右半部分對稱。