LRM工藝氣體和壓力對溝槽和通孔底形狀的影響
發布時間:2017/11/4 11:57:45 訪問次數:1170
通常頂部圓弧相當于頂部線寬CD的收縮,已經證明了頂部圓弧形狀最薄弱的點會導致VBD特性變差,如圖8,44所示。M/OX1K821W同時,從缺少聚合物△藝得到的頂部圓弧,可能會帶來更差的側壁粗糙度。所有這些都表示LRM步驟也是一個控制VBD性能的關鍵點。比較小的側壁粗糙度將帶來更好的VBD特性。
最好的R(特性來自側向刻蝕的形狀(見圖8.迮5),而最差的由底腳形狀得到。然而,從可靠性的角度來看,無論是側向刻蝕,還是底腳形狀都不是所需要的。最大的挑戰是如何得到最好的R‘特性,同時叉沒有底腳或者是側向刻蝕的形狀。根據缺乏/富含聚合物和其均勻性的觀點選擇刻蝕氣體是實現這一日標的關鍵。
通常頂部圓弧相當于頂部線寬CD的收縮,已經證明了頂部圓弧形狀最薄弱的點會導致VBD特性變差,如圖8,44所示。M/OX1K821W同時,從缺少聚合物△藝得到的頂部圓弧,可能會帶來更差的側壁粗糙度。所有這些都表示LRM步驟也是一個控制VBD性能的關鍵點。比較小的側壁粗糙度將帶來更好的VBD特性。
最好的R(特性來自側向刻蝕的形狀(見圖8.迮5),而最差的由底腳形狀得到。然而,從可靠性的角度來看,無論是側向刻蝕,還是底腳形狀都不是所需要的。最大的挑戰是如何得到最好的R‘特性,同時叉沒有底腳或者是側向刻蝕的形狀。根據缺乏/富含聚合物和其均勻性的觀點選擇刻蝕氣體是實現這一日標的關鍵。
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