CTC控制軟件架構及sEMI標準,論述了CTC實時調度系統框架模型,該模型分為監督控制層、H1164NL模塊管理層、模塊控制器層;接著介紹了通信協議的分析與設計過程,包括SEMI標準sECs-I、HSMS、SECS-Ⅱ和GEM四個通信協議;最后,介紹了利用“虛擬控制”思想對模型進行仿真、調度和驗證的過程。

   本書所涉及的研究成果是在遼寧省高等學校優秀人才支持計劃(LJQ2011132)、遼寧省教育廳科學研究一般項目(L2014456)、大連外國語大學科研基金項目(⒛14XJYB05)等的資助下取得的。另外,還要特別感謝電子工業出版社對本書的大力支持,感謝吳長莘等在書稿編輯出版過程中所給予的寶貴建議和付出的辛勤勞動。

本書可作為計算機科學與技術、管理科學與工程、機械工程等相關學科的教師、學生和研究人員的參考書。集束型晶圓制造裝備研究是一類NP特征的調度問題中具有高度復雜性和挑戰性的課題,隨著國際上對這類問題研究的不斷深入,以及我國半導體制造裝備的興起與迅速發展,有關的研究還在不斷發展和完善之中,本書作為作者近年來學習和研究的-個階段性總結,其中難免會有不當甚至錯誤之處,敬請廣大讀者批評指正。