集束型裝各是一個可重構系統,可以加工不同類型的晶圓。盡管加工模塊可以通過控制器的重新設置來實現不同的流程模式,但在不同模式的切換過程中,AAT3218IJS-3.3-T1系統要經過“穩態→過渡態→穩態”的過程。系統的過渡態是指前批晶圓沒有結束加工,后批晶圓就進入集束型裝備開始加工,即前批晶圓沒有末態和后批晶圓沒有初態,可以看出這種連續不中斷的加工方式,使進入系統的新類型晶圓不具有初態。

   晶圓制造過程是一個典型的復雜離散事件動態系統(Ⅱscrctc Event Dynamic Systcm,DEDs)。在集束型裝備的調度和運行控制中,除了因晶圓加工的滯留時間引起的調度可行性問題外,還需要避免另外一種不可行狀態,即系統死鎖[I2~15]。重入加工的模塊及相鄰集束型裝備間的緩沖模塊需要共享,這些模塊在競爭有限資源時,如果缺乏有效的調度和控制方法,就會引起“死鎖”現象。死鎖發生時,系統中的任務永遠被阻塞,不能被執行。這一特點使集束型裝備調度問題更加復雜。