以上定義考慮的是l晶圓生產周期,在生產過程中,多晶圓生產月期調度具有更高的產能,A915BY-150M同時也意味著調度更加復雜,以下介紹多晶圓生產周期相關的概念。定義1.4 晶圓加工是循環牛產過程,每次循環產生虍片類型相同的晶圓,機械手和加工活動再次回到初始狀態,其機械手活動序列稱為丹品圓周期序列(七Wafcr CycleScquencc),簡稱女序列,當丹=l時稱為單序列。gT行的七序列必須滿足:機械手不會對空的加工模塊做卸載操作,不會對己有晶圓的模塊做裝載品圓操作。

   定義15 丹晶圓生產月期(佬wafcr Cr⒗△mc)是指完成庀晶圓機械手活動序列所需的時間,也稱多晶圓生產周期或多度周期。七=1時,即為定義1.2的1晶圓生產周期。定義1,6 若存在常量z,使得對任意第次活動則稱機械手運行在穩定狀態。穩定狀態表現為集束型裝備執行l晶圓生產周期完畢的時刻恰好回到該周期開始執行時刻的狀態,也表現為多集束型裝備執行庀晶圓周期完畢的時刻恰好回到該周期開始執行時刻的狀態。