相對單集束型裝備來說,多集束型裝備構成及制造過程都要復雜得多。因此,FBMH2012HM800-T多集束型裝各的調度也比單集束型裝各要困難得多。目前,這個領域的研究己經取得了一些進展,下面綜述Pull策略和swap策略在多集束型裝備調度問題的研究進展。

   多集束型裝備調度問題可以分解為分別求各個單集束型裝備的調度問題,即可以利用單集束型裝備的求解方法進行求解,這樣可以減少計算的復雜性。本章參考文獻[43]在不考慮機械手移動時間條件下,把集束型裝備分解為各個等價的單集束型裝各的調度,緩沖區模塊對相鄰的兩個集束型裝備來說分別視為分解設備的虛擬加工模塊、虛擬真空鎖,最后給出基本周期的計算及“無等待”機械手最優調度算法。本章參考文獻[45]在[44]的基礎上,分析機械手從真空鎖/緩沖區模塊取出晶圓至載入晶圓的過程,并給出該過程允許 的時間間隔最大值和最小值策略,用解析法得出單集束型裝備的基本周期計算公式,用此公式計算各個被分解的單集束型裝備(有虛擬的加工模塊或真空鎖)的基本周期,以基本周期最大值作為整個系統的基本周期。在每個晶圓放入加工模塊后立即開始加工的假設前

提下,給出從第2個到第Κ個設備的機械手的起始動作開始時刻進行恰當延時的算法,使各個集束型裝備有相同的基本周期,最終得到基于Pu11和swap策略的機械手搬運作業排序。在此基礎上,給出緩沖區具有加工功能條件下系統的基本周期的計算公式,對各個機械手的起始動作開始時刻的延時做進一步修改。本章參考文獻[43]給出本章參考文獻[45]中系統在穩態下的計算基本周期下界的算法,推導達到下界這一最優調度的可調度條件。總之,本章參考文獻[43~45]的研究不足之處是忽略機械手的移動時間,這對實際生產中預計生產節拍有不少的誤差。但他們的工作提供了有價值的“分而治之”分解思路,該思路已成為求解多集束型裝備調度問題的一個主要方法。