swap策略是指機械手交換兩個機械手實現晶圓的裝載和卸載活動。為了FBMH2012HM331-T敘述方便,表示具有加工相同類型晶圓集束型裝備調度問題的機械手搬運作業序列,其中R氵(9≤J≤Ⅳ)表示序列中第'項搬運作業,即將加工模塊上加工完成的晶圓搬運至下一個工序對應的加工模塊上,這包括一個連續的機械手活動過程:機械手在加工模塊等待,當晶圓加工結束后,用空的機械手卸載該模塊內的晶圓,機械手旋轉180°后將另外一個機械手內晶圓裝載到該模塊,然后機械手移動到下一個工序。當機械手完成R中所有搬運作業后,系統完成一個生產周期,隨后系統重復執行R并進入下一周期。由此,將R=(R0,Rl,・・・,RⅣ)稱為Swap序列。

   基于swap調度策略,本章參考文獻[37,38]提出最小公倍數(Lcast CommOn Mu1tipk,LcM)策略以解決并行加工模塊調度問題,并證明生產周期的下界。本章參考文獻[39]進一步將LCM策略推廣到多集束型裝各,并提出解決機械手沖突的LsT(LCM SwapTokcn)策略。

    ALD加工過程是典型的重入流程模式。對于這一加工過程來說,其晶圓流模式為(1,(1,1))2)。采用swap調度策略,本章參考文獻[碉~緄]對實現ALD工藝的雙臂集束型裝備進行研究。本章參考文獻[40]提出3晶圓周期性調度方法1基于此方法發現,在一個周期中包含三個局部循環和三個全局循環,使得系統永遠處于瞬時狀態而不能達到穩態。這 就導致系統不能達到生產周期的下界。為了改善系統的運行過程及降低生產月期,本章參考文獻卩1]提出2晶圓周期性調度方法。用此方法調度系統時,在一個周期中包含兩個局部循環和兩個全局循環,并給出在一些條件下2晶圓周期性調度方法優于3晶圓周期性調度方法。為了提高系統的運行性能,必須減少在生產周期內加工晶圓的數目,本章參考文獻[42]提出基于Swap策略的1晶圓周期性調度方法。