考慮單臂機械手的移動時間,本章參考文獻[46]提出資源活動鏈的概念,分析在各M11B416256A-35T個單集束型裝備中加工晶圓的分布規律,給出獲得最優1晶圓調度的條件。在此條件下,給出―種計算復雜度為多項式的調度算法。作者認為系統的生產節拍不等于基本周期最大值,而是與緩沖區耦合和集束型裝備的資源瓶頸有關,并說明系統的1晶圓調度取決于各個集束型裝備的1晶圓調度節拍,以及所有集束型裝備中晶圓的分布。但是該文獻給出的最優1晶圓調度不能達到理論上生產節拍的下界,而且所提出的最優I晶圓調度的條件十分有限。本章參考文獻[47]在本章參考文獻[46]的基礎上,提出庀晶圓周期調度方法,以期獲得的生產節拍時間會更小。本章參考文獻[48]研究緩沖區有l或2個模塊的單臂兩集束型裝備調度問題。作者使用資源活動鏈方法量化分析集束型裝備之間的耦合聯系,發現多集束型裝備中存在庀晶圓周期調度;通過分析給定調度時單個集束型裝備生產節拍的性質,以及兩集束型裝備中晶圓的分布,推導在給定調度情況下兩集束型裝備緩沖區容量為1和2時的最小生產節拍閉合表達式;提出兩集束型裝各的最優佬晶圓周期調度算法,而且該算法的時間復雜度為多項式時間。顯然,當緩沖區容量為2時,由于可選調度增加,其最優調度比容量為1時復雜,此時在加工晶圓數量在兩集束型裝備中有三種可能的分布方案,相應地最小生產節拍時間也可能有三種情況。