在本章參考文獻[48]的基礎本章參考文獻[⒆]研究樹形結構的集束型裝備,首先對M11L416256SA-35T給定的調度用遞歸的算法計算最小的生產節拍時問,這須遍歷計算所有可能周期時間;接著分析線性集束型裝備在給定調度下的最小生產節拍。因為求解一般結構配置的Κ集束型裝備的最優的機械手調度順序是NP-hard的,所以該文獻進一步分析最優調度能被快速求解的條件;然后給出多集束型裝備可分解為單集束型裝備的解耦等價性(DccouplingEqiⅤalcncc)定義,同時給出樹形結構Κ集束型裝備應用這Pull策略(最優調度)滿足的充分條件,以及Κ集束型裝各應用Pu11策略可分解的充分條件。該文獻認為樹形結構多集束型裝備中,耦合聯系不限于兩個相鄰的集束型裝備之間,任何兩個集束型裝各都有耦合聯系。所以在給定的調度下,由晶圓分布及各個集束型裝備的時間參數,可以判斷多集束型裝備會出現庀晶圓周期調度。但其分解條件具有一定的局限性。例如,在Pull策略下分解兩集束型裝備,必須滿足在C】或o中有一個較長加工時間模塊(或較長的機械手周期),而且o中加工時間之和及機械手移動時間較短。總之,本章參考文獻[48,⒆]是多集束型裝備調度領域目前獲得的最好研究結果,在本領域有重要意義。然而,本章參考文獻認為兩集束型裝備的生產節拍由每個集束型裝各中的機械手順序、晶圓數量的分布、緩沖區耦合決定,而彐^當o中所有模塊的加工時間之和相對Cl來說足夠大時,整個兩集束型裝備是無法獲得1晶圓周期調度。而實際上,本章參考文獻[50]的研究發現這種情況 可以獲得最優1晶圓周期調度。另外,本章參考文獻[49]給出的可分解條件十分有限,認為多集束型裝備在一般條件下存在攵晶圓周期調度,但沒有給出1晶圓周期調度,同時當不符合分解條件及Pu11策略的最優條件時,也沒有給出求解最優調度的方法。