X射線熒光測厚儀測量條件選擇及方法

   1.測量條件選擇M058LBN

   (1)盡可能選擇大準直器,但不能超出被測區域面積,這樣測試結果更準確。

   (2)測量時間越長,穩定度越好。考慮到測試效率和系統的穩定性。一般來說,單鍍層不少于15s,雙鍍層和合金比例測量時間不少于30s,三鍍層測量時間不少于45s。

   (3)測量程式的選擇盡可能符合被測試樣的結構,以免系統計算出現偏差。

   (4)自動對焦時應防止設備觸碰試樣,手動對焦的使用是很有效的。

   2.測量方法

   X熒光測厚是一種比較式測量,有無標準片校正和使用不同的校準方法進行校準都將對測量結果造成影響。如圖4-46對Ni/Cu-6,3樣品進行了測量實驗。分別針對無校準、單點校準、兩點校準的測量方法進行實驗比對,分析不同測量方法對測量結果的影響。實驗中除校準方法不同,其他的條件均保持一致。

   圖⒋俑 無校準、單點校準、兩點校準測量方法均值厚度偏差數據曲線圖從圖⒋46中可以看到,單點校準的厚度偏差是最低的,也就是說用越接近樣品真實厚度的標準片對程序進行校準,測出的厚度值越準。