記錄內容包括被試器件數
發布時間:2019/5/24 19:47:31 訪問次數:3840
如果在玻璃鈍化層區域(例如,鍵合區、芯片邊沿、劃片線等)邊沿之外的任何地方出現鋁層腐蝕的情況(見圖4-147~圖4-153),該批器件就應拒收。 GAL16V8D-10LJNI 這一判據只適用于電流密度的計算值超過2×105A/cm2的那些鋁互連線。除非整個鋁條被完全切斷,否則圖4-149~圖4-152所示的C類和D類缺陷不得判為拒收。鋁的腐蝕可通過與被玻璃鈍化層覆蓋的鋁區域相比出現的透射形貌或反射特性的變化來判斷。應記錄失效情況,記錄內容包括被試器件數(如不是一個器件),以及與不同失效類別相對應的失效數。
如果在玻璃鈍化層區域(例如,鍵合區、芯片邊沿、劃片線等)邊沿之外的任何地方出現鋁層腐蝕的情況(見圖4-147~圖4-153),該批器件就應拒收。 GAL16V8D-10LJNI 這一判據只適用于電流密度的計算值超過2×105A/cm2的那些鋁互連線。除非整個鋁條被完全切斷,否則圖4-149~圖4-152所示的C類和D類缺陷不得判為拒收。鋁的腐蝕可通過與被玻璃鈍化層覆蓋的鋁區域相比出現的透射形貌或反射特性的變化來判斷。應記錄失效情況,記錄內容包括被試器件數(如不是一個器件),以及與不同失效類別相對應的失效數。
相關技術資料- 5-24記錄內容包括被試器件數
- 5-23樣品檢查一般要求
公網安備44030402000607
